Haupteigenschaften
- Geeignet für Wachs mit hohen und niedrigen Temperaturen
- Automatisches Abschalten bei erwünschter Dicke
- Einheitliche Dichteverteilung des Wachs
- Automatischer Betrieb für minimale Beaufsichtigung
- 102mm (4") oder 152 (6") Durchmesser
Beschreibung
Das WCS-20 wurde entwickelt, um präzise und wiederholbare Klebungen mit minimaler Verformung zu garantieren, indem eine ebene Wachsschicht über das Wafer-Trägermaterial verteilt wird. Nachfolgendes Kleben wird mit dem Wafer-Substrat Klebegerät ausgeführt.
Die Produktion von Wafer Dünn- oder Ultradünnschliffen für Laserdioden, Focal Plane Arrays, MMIC's, IR Detektoren, etc. bedarf oft einer präzisen Einfassung der Wafer auf einem stabilen Trägermaterial für nachfolgendes Rückdünnen oder Polieren. Dies stellt die Integrität der Wafer und ihrer geometrischen Toleranzen während der Bearbeitung sicher.
Präzise und wiederholbare Wachsklebungen sind vorrangig, um Standard-Toleranzen zu erzielen; traditionelle Klebemethoden sind nicht konsistent für Dicke und Klebequalität. Das Ziel ist daher die Wachsschicht so zu kontrollieren, dass die Wafer:
- ohne Abschrägung nach dem Läppen und Polieren ist.
- von einheitlicher Dicke ist; z.B. dürfen keine Luftbläschen, die die Klebeschicht deformieren, entstehen.
- unversehrt und in einem Stück ist; z.B. nicht gespalten oder beschädigt auf Grund von Verschleiß der Klebung während der Bearbeitung.
Produktoptionen
Das WCS-10 ist lieferbar in 240V/50-60Hz oder 110V/50-60Hz und hat folgende Konfigurationsoptionen:
- WCS-10 für 4 Substrate
- WCS-10 für Wachs mit hohem Schmelzpunkt
- WCS-10 für 4 Substrate und Wachs mit hohem Schmelzpunkt
Produktspezifikation
| Stromversorgung : | 220/240V, 50Hz or 110V, 50/60Hz |
| Max Kapazität : | 6 Wafer mit 83mm (3") Durchmesser 4 Wafer mit 105mm (4") Durchmesser 1 Wafer mit 152mm (6") Durchmesser |
| Höhe : | 1600mm |
| Tiefe : | 580mm |
| Breite : | 940mm |
| Gewicht : | 200Kg (440lbs) |
| Wasserversorgung : | Strom-Druck-Kaltwasser |
Für mehr Informationen über das WCS10 Wachsbeschichtung-System, rufen Sie uns an unter +44 (0)1389 875444 oder füllen Sie einfach unser Kontaktformular aus.