Haupteigenschaften
- 4 motorbetriebene Polierköpfe
- Variable Scheibengeschwindigkeit (0-160rpm)
- Plattendurchmesser von 600mm (23")
- Gleichzeitige Bearbeitung von bis zu 48 x 2"ø Wafern oder 4 x 8"ø Wafern
- Ideal zur Bearbeitung von Sic, GaN, AIN, Saphir
Beschreibung
Die DH600 ist ein perfektes System zur automatischen Endpolitur von Wafern, optischen Komponenten, Filtern oder LCD Panels
Vier motorbetriebene Polierköpfe (exzentrisch schwenkbar) ermöglichen eine gleichzeitige Politur von bis zu 48 x 2" Wafer in einem Arbeitsgang. Hierdurch kann die DH600 ideal in einem Produktionsumfeld eingesetzt werden kann.
Die automatische Steuerungskonsole wird über einen Joystick-betrieben, der eine direkte Eingabe aller Prozessparameter ermöglicht.
Anwendungen
Die DH600 kann zur Politur von Wafern und Substraten von nahezu jedem optischen Material benutzt werden. Automatische Kontrollen und ein intelligentes Lade- und Entladesystem bieten eine Basis die notwendig ist, um schnelle Politur von Wafern durchzuführen. Hierdurch werden EPI Ready Oberflächen mit Steuerung der geometrischen Kontrolle realisier. Das System ist besonders geeignet zur Politur von harten Materialien (SiC, Saphir, Nitride) und ausgelegtt für Wafern bis zu einem Maximum von 8"ø.
Haupteigenschaften
Die Entwicklung der Polierköpfe des DH System wurde für einen hohen Anpreßdruck (45Kg)ausgelegt, damit Hochgeschwindigkeitspolituren erzielt werden können. Die Köpfe werden automatisch auf die Polierplatte abgesenkt und arbeiten mit der entsprechenden Druckvorgabe. Bei Prozessende werden die Bearbeitungsköpfe automatisch angehoben.
Jeder Kopf des DH System wird über ein LCD - Display mittels Joystickkonsole kontrolliert. Hierdurch wird das System mit allen notwendigen Parametern kontrollier. Die Parameter (z.B. Umdrehungsgeschwindigkeit Exzenterschwenk, Timer etc) werden ebenfalls grafisch angezeigt.
Produktoptionen
1ASF1
Produktspezifikation
| Stromversorgung : | 3 Phasen 220V (440V zwischen Phasen) |
| Sicherung : | 20A |
| Scheibengeschwindigkeit : | 0-160rpm |
| Scheibendurchmesser : | 600mm (23.6") |
| Carriergeschwindigkeit : | 0-125rpm |
| Carrier Anpressdruck : | 2psi - 9psi Liniendruck |
| Carrierkopf Kapazität : | 12 x 2" Wafern (standard Template) Ander Templates verfügbar auf Anfrage |
| Maschinenkapazität : | 48 x 2" Wafern pro Lauf |
| Höhe : | 1800mm |
| Tiefe : | 900mm |
| Breite : | 900mm |
Für mehr Informationen über die DH600 Politurmaschine, rufen Sie uns an unter +44 (0)1389 875444 oder füllen Sie einfach unser Kontaktformular aus.