主要特性
- 抛光样品到lambda/10的高精度平面测量
- 3维影像分析能力
- 高清晰 0.335µm测量条纹
- 1" 至 6"直径材料的条纹影像及分析
描述
LI15可以进行大范围的平整度测量,样品尺寸直径102 mm(4’’)。适用于光学组件的生产和研究开发的实验室。
我们的 fizeau干涉仪给表面平整度光学测量提供一个快速精确的方法,它的特点是参考面和测试表面不直接接触,参考面平整度为l/20.两个表面间反射光干涉形成等高线图或是干涉图,干涉图可以在黑白CRT屏幕上显示。
然后分析软件生成样品表面的3维图形(提供PC及软件). 内部的相机将拍摄到的相差图片传输到PC,再通过PC中特殊设计的图形软件,形成样品的3D表面图.LI15软件包有一整套发布品质的制图特性,包括透视图,彩色等高级图,截面图等。这些特性会自动显示样品表面的凸凹状况。 实时互动特性(如下边所示)包括转换,旋转,缩放,移动和截面显示等。

LI15还可采用不同的观测附件,如CCTV,广角镜及双目镜等.
Fizeau 干涉仪应用
Logitech LI15 fizeau干涉仪可理想的用于检测光学平面以及进行很多光学器件的平面度测量。它可以进行抛光半导体或光学材料的平整度测量,对这些材料来说平整度对后续工艺极其重要。对于需要进行数据采集记录以加速质量评估过程的应用是相当有用的。
产品配置
LI15 fizeau干涉仪可配置以下附件 :
- 真空吸附
- 广角镜
- 双目镜
- Polaroid相机
- CCTV 220V/50Hz
产品规格
| 电源 : | 240V, 50Hz 110V, 50Hz |
| 最大样品尺寸 : | 102mm (4")ø (5"/6" on other models) |
| 孔径 : | 102mm (4")ø (5"/6" on other models) |
| 参考板 : | Flatness Parallelism 20 +/- 5 min of arc min. positive wedge |
| 条纹间隙 : | 0.316µm |
| 照明 : | 0.5mw HeNe Laser |
| 高 : | 346mm |
| 长 : | 610mm |
| 宽 : | 430mm |
| 净重 : | 28Kg |
需要更多关于LI15的信息,请至电 +86 (10)62564811,62538157或者填写我们的联系表格.
