Logitech自行设计和制造用于多种领域的材料处理设备,而且在此领域有40多年的经验。同时公司开发了一个全面的集成设备与技术的技术包,用于像以下光电材料的处理应用: Lithium Niobate, Lithium Tantalate, Bismuth Silicon Oxide, barium Titanate,并且达到精确误差及无损伤表面光洁度。
我们灵活的系统可以集成到您的整个制造流程中,,给您的光电材料样品的最终制备提供一个快速可靠成功路径。
典型的光电器件(像光调相器)的一个制备过程,分成7大步骤:
- 晶棒的制备.
- 用内缘切割机从晶棒上将晶圆切下.
- 研磨晶圆两面,将一面或两面抛光到无缺陷表面。
- 从抛光片上切出衬底片。
- 在衬底片的抛光表面上形成光导通道
- 将扩散片粘在一起形成一个堆栈,两头再用废料保护。然后以最小崩边及卷边将端面抛光平坦。
- 深层电极带蒸发, 器件板安装和光纤引线的连接。
结果
下边的图显示使用Logitech设备来加工光电材料可获得的始终如一的高质量结果 ::
Typical Electro-Optic Device Substrate : General squareness and parallelism to about 3 minutes of arc
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