Haupteigenschaften
- 4 vollautomatische Arbeitsstationen
- Einfach zu beladende Bearbeitungsstationen
- Automatische System zur Planitätskontrolle der Läppscheibe
- Bis zu 6" (152 mm) Wafer
- Automatisches Läppmittelzufuhrsystem
Beschreibung
Das NGS System (Next Generation System) von Logitech ist eine Präzisions-Läppmaschine, die für automatisierte Bearbeitungsprozesse im Läppbereich entwickelt wurde. Durch die Integration des von Logitech entwickelten auto-lap Moduls können Produktionseffizienz und Durchsatz gesteigert werden. Das Rückdünnen von Wafern im Halbleiterbereich, sowie der Einsatz im Bereich von Optoelektronik und Photonik sind nur Beispiele für Anwendungen des Systems.
Neben empfindlichen und spröden Materialien wie III/V und II/VI Halbleiter ist das NGS besonders für die Bearbeitung von harten Materialien wie z.B. Saphir, Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN) oder Aluminiumnitrid (AlN) entwickelt worden.
Systemvorteile
- Flexible Anwendungsmöglichkeiten und höherer Durchsatz
- Gesteigerte Prozesskontrolle
- Reproduzierbare, exakte Ergebnisse
- Multitasking-Kapazität und erhöhte Prozesseffizienz
- Hohe Wafer-/ Komponentensicherheit
Einfach erweiterte Produktion
Mit 4 automatisierten Arbeitsstationen kann das NGS einen größeren Durchsatz von Wafern und Komponenten herstellen, wie es für Produktionsabläufe benötigt wird.
Bearbeitungsschritte können unabhängig voneinander oder simultan ablaufen, um Multitasking zu ermöglichen
Prozessautomatisierung
Die Benutzerfreundliche Eingabe der Prozessparameter ermöglichen dem Anwender, optional bis zu vier Bearbeitungsstationen für einen bestimmten Prozess zu vorprogrammieren, oder das System über eine manuelle Einstellung zu steuern.
Bei Nutzung des automatischen Programmablaufs ist eine Beaufsichtigung der Maschine nicht mehr notwendig.
Verkürzung von Maschineneinrichtzeiten (Maschinenvorbereitung)
Das NGS ist mit dem auto-lap Modul ausgestattet. Dieses automatische System zur Planitätskontrolle kontrolliert die Oberflächenbeschaffenheit der Läppscheibe und richtet zeitgleich die Läppscheibe auf einen voreingestellten Zielwert (+/- 1µm) ab.
Anwenderschulung
Zur Umsetzung der der vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten des NGS Systems erhält der Anwender eine umfassende Technologie Schulung (Training) über Logitech. Hierbei wird nicht nur die Bedienung der Maschine trainiert, sondern parallel eine Prozessbearbeitung an mitgebrachten Proben durchgeführt.
Die NGS Features im Überblick:
4 vollautomatische Bearbeitungsstationen
Ergeben erhöhte Produktionsraten bei optimierter Auslastung und zuverlässig-reproduzierbaren Prozessergebnissen. Jede Arbeitsstation (IJ) ist individuell programmier und ansteuerbar.
Intelligentes System für die Materialbearbeitung
Bearbeitungsköpfe messen und steuern individuell den Anpressdruck auf die Proben sowie den Materialabtrag. Hierdurch wird für genaue Kontrolle der Prozessbedingungen gesorgt, die in höherer Effizienz und in höherem Durchsatz resultiert.
Einfach zu beladende Bearbeitungsstationen
Die Bearbeitungsstationen können individuell oder simultan in den Prozess integriert werden, hierdurch wird Multitasking ermöglicht. Empfindliche Proben, Wafer oder kristalline Strukturen werden durch ein Sicherheitssystem vor Schäden während der Be-/ Entladeabläufe geschützt. Der Bearbeitungskopf hält zunächst die Proben im Kopfgehäuse zurück, bevor sie auf die Läppscheibe abgesenkt werden.
Integriertes auto-lap System
Durch das von Logitech entwickelte auto-lap System wird über ein online Monitoring die Form der Läppscheibe laufend kontrolliert. Entsprechend den Ziel Einstellungen durch den Anwender wird die Scheibenplanität über das auto-lap System kontinuierlich korrigiert. Die Scheibe behält hierdurch automatisch die gewünschte Form, um reproduzierbare Planität des Materials, Parallelität und TTV zu gewährleisten.
Benutzerfreundliche Steuerung
Prozessparameter werden auf einfache Weise über ein grafisches LCD-Display mit Joystick-Steuerung eingegeben.
Automatische Läppmittelzufuhr.
Ein neuartig entwickeltes Läppmittelzufuhrsystem gewährleistet eine konstante Tropfrate, so dass eine kontinuierliche und reproduzierbare Materialabtragsrate mit höchster Oberflächengüte garantiert wird.
Gehäuse
Das NGS System ist Integriert in ein komplettes Gehäuse. Durch umlaufend angebrachte Tür- und Öffnungssysteme ist ein Zugang zu allen Bereichen innerhalb der Maschine möglich. Alle Komponenten wie z.B. Bearbeitungsköpfe, auto-lap Monitor, Läppmittelzufuhr sind für den Anwender unter Einhaltung aller Sicherheitsaspekte gut zugänglich.
Produktoptionen
Die NGS ist mit 220/240 V, 50 Hz lieferbar
Produktspezifikation
| Stromversorgung : | 220/240 V, 50 Hz |
| Scheibendrehzahl : | 1-100 Upm |
| Scheibengröße : | 560 mm (22") |
| Höhe : | 2000 mm (ohne autom. Zuführung) |
| Tiefe : | 700 mm |
| Breite : | 1800 mm |
| Gewicht : | 430 kg |
| Scheibengewicht : | 55 kg |
Für weitere Informationen über das Produkt oder Logitech füllen Sie bitte unser Kontaktformular aus. Telefonisch erreichen Sie Logitech unter +49 (0) 2154-4860 (Struers GmbH) oder +44 (0)1389 875444 (Logitech Ltd.)