Zurückgreifend auf eine über 40-jährige Erfahrung in der Entwicklung und Produktion von Systemen für den komplexen Bereich der Materialbearbeitung bietet Logitech ein komplett integriertes Technologie-Paket zur Bearbeitung von elektrooptischen Materialien wie z. B. Lithiumniobat, Lithiumtantalat, Wismutsiliziumoxid oder Bariumtitanat für präzise Probengeometrien höchster Qualität (Toleranzen/Oberflächengüte).

 

Die Systeme von Logitech sind auch in komplette Produktionsketten integrierbar und bieten einen optimalen Weg zum Erfolg bei der Bearbeitung Ihrer elektrooptischen Materialproben

Der Standard-Herstellungsprozess für ein typisches elektrooptisches Substrat (z. B. optischePhasenmodulatoren) erfolgt in 7 Prozessschritten:

• Züchten und kristallographische Orientierung des Einkristalls.
• Sägen des Wafers aus dem Einkristall mit einer Innenloch-Diamantsäge.
• Läppen beider Waferoberflächen und Polieren einer bzw beider Seiten bis zu fehlerfreier Qualität (Ra = sub-nm).
• Heraustrennen (Dicing) der Substrate aus dem polierten Wafer.
• Erzeugung optischer Führungskanäle auf der polierten Oberfläche des Substrats, z. B. durch Eindiffusion eines Titanstreifens.
• Kleben diffundierter Platten zur Stapelbildung zwischen dem Ausschussglas; sowie Endpolitur der Substratkanten in höchster Qualität, im Hinblick auf Planität und Geometrie der Hauptflächen, bei minimaler Kantenabrundung und entsprechend geringer Ausbruchsrate.
• Aufdampfen weiterer Elektrodenstreifen, Befestigung der Substrate auf die Verteilungsleitung und Verbindung der optischen Fasern mit den elektrischen Anschlüssen.

Ergebnisse

Die nachfolgende Skizze gibt eine Übersicht über die notwendigen Geometrien am Substrat, wie sie typischerweise über Logitech Systeme erzielt werden können.

Typisches elektrooptisches Bauteilsubstrat : allgemeine Rechtwinkligkeit und Parallelität auf etwa 3 Bogenminuten genau

 

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