Haupteigenschaften
- 4 motorgetriebene Polierköpfe
- Variable Scheibendrehzahl (0-160 Upm)
- Scheibendurchmesser 600 mm (23") W
- Bearbeitung von maximal 48 x 2" ø Wafer oder 4 x 8" ø Wafer pro Durchgang
- Bearbeitung von SiC, GaN, AIN, Saphir und Nd:YAG
Beschreibung
Die Produktionspoliermaschine DL4 bietet sowohl forschungs- als auch produktionsorientierten Einrichtungen ein automatisches Poliersystem für hochqualitative Polituren. Wafer, Substrate, Linsen, Spiegel, Prismen sowie andere Komponenten aus unterschiedlichsten Materialien werden unter Nutzung der von Logitech angebotenen Poliescheiben-/-tüchern (Pads), Suspensionen (CMP, Diamant) effizient bearbeitet werden.
Vier motorgetriebene Polierköpfe (exzentrisch schwenkbar) ermöglichen das gleichzeitige Polieren von maximal 48 x 2" Wafern. Hierdurch kann die DL4 ideal in der Produktion eingesetzt werden.
Die automatische LCD-Anzeigetafel wird per Joystick gesteuert und ermöglicht jederzeit Eingabe und Änderung von Prozessparametern.
Anwendungen
Die Produktionspoliermaschine DL4 bietet im Umfeld von Produktion und Fertigung ein automatisches Poliersystem für hochqualitative Polituren. Die hohe Flexibilität für die unterschiedlichsten Materialien öffnen auch die Türen für zukünftige Anwendungen. Das DL4 System wird nicht nur in der Pilot und Kleinserienfertigung eingesetzt, sonder erlaubt auch im Bereich der Prototypenentwicklung neue Einsatzgebiete.
Zur Aufnahme von Wafern und Substraten steht eine Anzahl an unterschiedlichen Templates zur Verfügung. Die Templates werden auf der Grundplatte des Polierkopfes (Carrier) befestigt. Entsprechend der Materialspezifikation werden die Templates auf die notwendigen Maße angepasst. Hierbei können am DL4 bis zu 4 Wafer 8“ (200mm) oder bis zu 48x 2“ aufgenommen werden.
Haupteigenschaften
Die Polierköpfe des DH-Systems sind für einen hohen Anpressdruck (45 kg) ausgelegt, um Hochgeschwindigkeitspolieren zu ermöglichen. Die vollautomatisch gesteuerten Polierköpfe werden individuell per Joystick gesteuert. Zur Erhöhung der Poliereffizienz lassen sie sich noch zusätzlich exzentrisch über die Polierscheibe bewegen.
Produktoptionen
1ASF1 Großvolumiges Zusatzdosiersystem für Polier-/ Läppsuspensionen
Produktspezifikation
| Stromversorgung : | 3 Phasen 220 V (440 V zwischen Phasen) |
| Sicherung : | 20 A |
| Scheibendrehzahl : | 0-160 Upm |
| Scheibengröße : | 600 mm (23,6") |
| Polierkopfdrehzahl : | 0-125 Upm |
| Träger-Anpressdruck | 2-9 psi Leitungsdruck |
| Polierkopf-Kapazität : | 12 x 2" Wafern (Standard-Template) Andere Templates sind auf Wunsch erhältlich |
| Maschinenkapazität : | 48 x 2" Wafern pro Durchgang |
| Höhe : | 1800 mm |
| Tiefe : | 900 mm |
| Breite : | 900 mm |
Für weitere Informationen über das Produkt oder Logitech füllen Sie bitte unser Kontaktformular aus. Telefonisch erreichen Sie Logitech unter +49 (0) 2154-4860 (Struers GmbH) oder +44 (0)1389 875444 (Logitech Ltd.)