Haupteigenschaften
- Minimale Oberflächen Beschädigung (Subsurface- Damage)
- Maximale Probengröße - 200 mm (8") Durchmesser
- Robuste Konstruktion aus korrosionsfesten Materialien
- Praktisches Sensor-Bedienfeld mit abnehmbarer Steuereinheit
- Feines Ätzpolieren von Halbleiterwafern und elektrooptischen Kristallen
Beschreibung
Die Logitech CP4000 ist eine korrosionsfeste chemische Poliermaschine mit einem integrierten Abzug und wurde als kosteffektives Gerät für aggressive und normalerweise gefährliche chemische Poliervorgänge konstruiert. Maximale Probengröße - 9 x 76 mm (3") Durchmesser (Konfiguration des Arbeitsbereiches bei Bestellung angeben).
Die CP4000 besteht überwiegend aus Polypropylen, PVDF und anderen korrosionsfesten Materialien, weshalb sie für die Benutzung mit den meisten chemischen Poliermitteln geeignet ist. Der Antriebsmechanismus sowie die gesamte Elektronik sind unterhalb des unteren Arbeitsbereichs montiert. Für die Trennung vom Arbeitsraum und somit den Schutz vor chemischen Angriffen sorgt eine Flüssigdichtung zwischen dem unteren Arbeitsbereich und der Antriebsgrundplatte, gefolgt von einer Gummidichtung zwischen der Antriebswelle und dem unteren Arbeitsbereich.
Die Endpolitur an III/V und II/VI Halbleitermaterialien, sowie Kristallen für optische und elektrooptische Anwendungen benötigt zur Erzielung der gewünschten Oberflächenqualitäten sehr oft eine chemische Politur. Hierdurch können epitaxiefähige Oberflächen (Epi-Ready) hergestellt werden.
Die hierfür verwendeten Chemikalien wie Brommethanol, alkalisches Peroxyd oder Säureätzungen sind äußerst aggressiv und erfordern den Einsatz korrosionsfester Ausrüstung, die speziell für diesen Zweck entwickelt wurde und entsprechende Sicherheitsmerkmale aufweist.
Der Zugriff zum unteren Arbeitsbereich ist über ein "Drop-down" Frontpanel möglich, auf dem die Bedienungselemente montiert sind. Kühlung und ausreichende Lüftung werden in diesem Bereich bereitgestellt.
Produktoptionen
Die CP4000 ist als Version mit 230 V/50-60 Hz oder 110 V/50-60 Hz lieferbar. Es gibt zwei Optionen, die auf die verfahrentechnischen Anforderungen abgestimmt werden müssen: - Polierscheibe: verfügbar in den Durchmessern 25,4 cm bis 45,72 cm [10-18"] - Konfiguration des Durchsatzes: die Standardkonfiguration nimmt neun 3"-Wafer auf.
Produktspezifikation
| Stromversorgung : | 230 V, 50-60 Hz oder 110 V, 50/60 Hz |
| Arbeitsbereich : | 864 mm x 407 mm |
| Scheibendrehzahl : | 1-70 Upm |
| Scheibendurchmesser : | 457 mm (18") |
| Maximale Probengröße : | 9 x 76 mm (3") ø |
| Höhe : | 1040 mm |
| Tiefe : | 760 mm |
| Breite : | 1270 mm |
| Gewicht : | 145 kg |
Für weitere Informationen über das Produkt oder Logitech füllen Sie bitte unser Kontaktformular aus. Telefonisch erreichen Sie Logitech unter +49 (0) 2154-4860 (Struers GmbH) oder +44 (0)1389 875444 (Logitech Ltd.)