Zurückgreifend auf über 40-jährige Erfahrung in der Konstruktion und Herstellung von hochpräziser Ausrüstung für die hochentwickelte und vielfältige Welt der Materialverarbeitung hat Logitech ein völlig integriertes Maschinen-Technologie-Paket für die Verarbeitung von elektrooptischen Materialien wie Lithiumniobat, Lithiumtantalat, Wismutsiliziumoxid oder Bariumtitanat entwickelt, um präzise Toleranzen bei kratzerfreien Oberflächen zu gewährleisten.

Unsere flexiblen Systeme sind in Ihr komplettes Fabrikationsprogramm integrierbar, da ein schneller und sicherer Weg zum Erfolg bei der Abschlusspräparation Ihrer elektrooptischen Materialproben geboten wird.

Ein Fabrikationsprozess für einen elektrooptischen Baustein (z. B. optischer Phasenmodulator) gliedert sich in 7 Phasen:

• Herstellung und Orientierung des Kristalls.
• Trennen des Wafers vom Kristallstab mit einer Innenloch-Diamantsäge.
• Glattläppen beider Waferseiten und Polieren einer Seite oder beider Seiten auf fehlerfreie Qualität (Ra = sub-nm).
• Trennen der Substrate vom polierten Wafer.
• Formen von optischen Führungskanälen auf der polierten Oberfläche des Substrats, z. B. durch Diffusion eines Ti-Strip.
• Stapelklebung von außenliegenden Substraten mit Ausrichtung der eingeklebten Proben, und anschließende Weiterbearbeitung (Läppen/Polieren) unter Berücksichtigung der rechtwinkligen Ausrichtung ohne Verrundung und Ausbruch von Kantenmaterial
• Evaporation weiterer Electrode Strips, montieren der Gerätplatte am Kopf und Verbindung optischer Fasern und elektronischer Verbindungen

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