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Frage : How can I measure the flatness of my components or wafers?
Kategorie : Applications
Antwort:
By using one of the Logitech GI20, GI30 or LI10/LI15 interferometers to compare the components to a known optical reference flat. This displays the curvature as an interference pattern which can be optionally saved as a bitmap.
The GI30 and LI15 also make use of phase shift technology and custom software to provide 2D and 3D images of the flatness and to quantify the flatness in fringes or microns.
