Haupteigenschaften
- Motorgetriebener Polierkopf (exzentrisch schwenkbar)
- Variable Scheibendrehzahl (0-160 Upm)
- 508 mm (20") Scheibendurchmesser
- Bearbeitung von Wafern 1 x 300 mm oder 12 x 2" ø
- Ideal zur Bearbeitung von SiC, GaN, AIN, Saphir und Nd:YAG
Beschreibung
Die Produktionspoliermaschine DH300 bietet sowohl forschungs- als auch produktionsorientierten Einrichtungen ein automatisches Poliersystem für hochqualitative Polituren. Wafer, Substrate, Linsen, Spiegel, Prismen sowie andere Komponenten aus unterschiedlichsten Materialien werden unter Nutzung der von Logitech angebotenen Poliescheiben-/-tüchern (Pads), Suspensionen (CMP, Diamant) effizient bearbeitet werden.
Zur Aufnahme von Wafern und Substraten steht eine Anzahl an unterschiedlichen Templates zur Verfügung. Die Templates werden auf der Grundplatte des Polierkopfes (Carrier) befestigt. Entsprechend der Materialspezifikation werden die Templates auf die notwendigen Maße angepasst. Hierbei können am DH300 Wafer bis 12“ (300mm) oder bis zu 12x 2“ aufgenommen werden.
Die Steuerung des DH300 Poliersystems erfolgt über ein schwenkbares Bedienpaneel mit Datendisplay zur Einstellung typischer Maschinenparameter wie z.B.:
- Drehzahl für Scheiben- und Polierkopf
- Poliermittel Zufuhr
- Exzenterantrieb des Polierkopfes
- Start / Stopp des Polierverfahrens
Auf der zweiten Seite können die folgenden Prozessparameter eingestellt werden:
- Drehrichtung für Scheiben-und Polierkopf-
- Anpressdruck Polierkopf-
- Timer
Anwendungen
Das DH300 System ergänzt universell die Logitech Läppsysteme. Neben der Flexibilität für unterschiedliche Anwendungsbereiche und Materialgruppen hat es sich besonders bei der Politur von harten Materialien bewährt. Saphir, Siliziumkarbid (SiC), Aluminiumnitrid (AlN), Galliumnitrid (GaN) sowie Nd:YAG stellen hier nur eine aktuelle Auswahl dar. Die Abarbeitung automatischer Polierprozesse ermöglicht besonders im Halbleiterbereich die Herstellung von EPI Ready Oberflächen.
Das DH300 kann als Standgerät Dank platzsparender Abmaße optimal in kleineren Laboren oder Fertigungsbereichen eingesetzt werden. Neben höheren Durchsatzkapazitäten im Vergleich zu klassischen Labormaschinen können auch Pilotproduktionen und Serienfertigung optimal bedient werden.
Produktoptionen
1ASF1 Großvolumiges Zusatzdosiersystem für Polier-/ Läppsuspensionen
Produktspezifikation
| Stromversorgung : | Einphasig 220-230 V |
| Sicherung : | 13 A |
| Scheibendrehzahl : | 0-160 Upm |
| Scheibengröße : | 560 mm (22") |
| Polierkopfdrehzahl : | 0-125 Upm |
| Maschinenkapazität : | 12 x 2" Wafers pro Durchgang |
| Höhe : | 1800 mm |
| Tiefe : | 950 mm |
| Breite : | 700 mm |
Für weitere Informationen über das Produkt oder Logitech füllen Sie bitte unser Kontaktformular aus. Telefonisch erreichen Sie Logitech unter +49 (0) 2154-4860 (Struers GmbH) oder +44 (0)1389 875444 (Logitech Ltd.)