Haupteigenschaften
- Minimale Oberflächen Beschädigung (Subsurface- Damage)
- Maximale Probengröße - 200 mm (8") Durchmesser
- Robuste Konstruktion aus korrosionsfesten Materialien
- Praktisches Sensor-Bedienfeld mit abnehmbarer Steuereinheit
- Feines Ätzpolieren von Halbleiterwafern und elektrooptischen Kristallen
Beschreibung
Dieses System wurde speziell für die Verwendung innerhalb eines bestehenden Abzugs entwickelt und verfügt über eine maximale Probenkapazität von 3 x 114 mm (4,5") Durchmesser.
Die Endpolitur an III/V und II/VI Halbleitermaterialien, sowie Kristallen für optische und elektrooptische Anwendungen benötigt zur Erzielung der gewünschten Oberflächenqualitäten sehr oft eine chemische Politur. Hierdurch können epitaxiefähige Oberflächen (Epi-Ready) hergestellt werden.
Die hierfür verwendeten Chemikalien wie Brommethanol, alkalisches Peroxid oder Säureätzungen sind äußerst aggressiv und erfordern den Einsatz korrosionsfester Ausrüstung, die speziell für diesen Zweck entwickelt wurde und entsprechende Sicherheitsmerkmale aufweist.
Neben ihrer Kompatibilität mit diesen aggressiven Poliermitteln kann die CP3000 auch für die von Logitech entwickelte, weniger aggressive Chemlox Poliermethodik eingesetzt werden, wie es z. B. auf der Rückseite von III/V Halbleiterwafern benötigt wird.
Produktoptionen
Die CP3000 ist als Version mit 220 V/50 Hz oder 110 V/50-60 Hz lieferbar. Für die CP3000 gibt es zwei optionale Varianten: - CP3000 Standard mit Fernsteuerung, Beschickungsgerät und Abflussbehälter - CP 3000 mit Exzenterantrieb, Fernsteuerung, Abflussbehälter, Poliermittelspeisung mit optionalem automatischem Chemlox Dosiersystem.
| Stromversorgung : | 220 V/240 V, 50 Hz oder 110 V, 50/60 Hz |
| Hauptantriebseinheit : | 400 x 435 x 260 mm |
| Fernsteuerung : | 500 x 245 x 195 mm |
| Maximale Höhe mit Beschickungsgerät : | 660 mm |
| Scheibendurchmesser : | 356 mm (14") |
| Maximale Probengröße : | 1 x Stk. - 8" ø 3 x Stk. - 4,5" ø |
| Scheibendrehung : | 1-70 Upm |
| Gewicht : | 42 kg |
Für weitere Informationen über das Produkt oder Logitech füllen Sie bitte unser Kontaktformular aus. Telefonisch erreichen Sie Logitech unter +49 (0) 2154-4860 (Struers GmbH) oder +44 (0)1389 875444 (Logitech Ltd.)