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Präzisionssäge APD1

APD1 precision saw

Haupteigenschaften

  • Innenloch- und Peripherschnitt in einem Gerät
  • Hochpräzise, schadensoptimierte Schnitte bei minimalem Sägeverlust
  • Einzel- oder Mehrfachschnitte
  • Automatik- oder Manueller Betrieb
  • Kompaktes, modernes Design

Beschreibung

Die APD1 ist eine kombinierte Innenloch- und Periphersäge, ideal für die Vereinzelung von Proben wie Wafer-, Kristall- oder Halbleiterkomponenten bis zu 55 mm Durchmesser bei minimalem Sägeverlust oder für präzises Dicing von Wafern bis zu 100 mm (4'') Durchmesser.

Mit einer einzigartigen Kombination von Innenloch- und Peripherschnitt in einer Präzisionssäge, kann das Trennen von Halbleiterwafern und Kristallstäben und deren anschließendes Trennen in Substrate mit einem Gerät erfolgen.

Die APD1 wurde entwickelt, um Proben sorgfältig und hauchdünn bei minimaler Oberflächenbeschädigung und minimalem Sägeverlust zu trennen. Ein automatischer Programmablauf ermöglicht es, wiederholte Schnitte nach ausgewählter Dicke und definiertem Durchmesser ohne Beaufsichtigung herzustellen.

Die Bedienung der Säge ist ein unkompliziertes Verfahren, da zur Kontrolle ein Joystick-Bedienfeld mit graphischer Oberfläche zur einfachen Nutzung auf der Vorderseite des Geräts installiert wurde. Der Bildschirm erlaubt dem Benutzer, Parameter wie z. B. Schnitttiefe, Schnittbreite und Anzahl auszuführender Schnitte reproduzierbar einzustellen. Drehzahl und Vorschubgeschwindigkeit können auf einfache Weise eingestellt und gesteuert werden, indem die erforderlichen Daten über den Joystick eingegeben werden.

Die Präzisionssäge APD1 erweist sich als effektives Werkzeug für Anwendungen wie:

  • Trennen und Waferschneiden von Kristallen
  • Trennen von Elektronikbauteilen
  • Dicing von Halbleiterkomponenten
  • Schlitzen auf definierte Schnitttiefe

sowie das Trennen eines breiten Spektrums von Gläsern, Keramik, Gesteinsproben und elektrooptischen Werkstoffen.

Produktoptionen

Die ADP1 hat eine Standardspannung von 220/240 V, 50 Hz und bietet eine Reihe optionaler Möglichkeiten:

  • Drehtisch
  • Drehtisch mit Höhenverstellung
  • Substrathalteraufsatz für Drehtisch

Produktspezifikation

Stromversorgung : 220/240 V, 50 Hz
Hauptantriebsmotor : 180 V DC, 0,37 kW
Höhe : 670 mm
Breite : 765 mm
Tiefe : 600 mm
Gewicht : 223 kg (Bruttogewicht) / 130 kg (Nettogewicht)
Maximale Schnitttiefe : 55 mm im Innenlochschnitt-Modus
Maximale Schnittlänge : 102 mm im Peripherschnitt-Modus
Minimale Trommeldrehzahl : 100 Upm
Maximale Trommeldrehzahl : 3000 Upm
Minimale Vorschubgeschwindigkeit : 0,1 mm/s
Maximale Vorschubgeschwindigkeit : 2,0 mm/s
Positioniergenauigkeit : Y-Achse : 5 µm
Kühlmittelbehälter : 15 Liter Fassungsvermögen

 

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