主要特性
- 适用于高低温蜡
- 达到要求厚度自动关机
- 蜡层均匀分布
- 自动进行无需照看
- 直径102mm (4") 或 152 (6")
描述
WCS-10是用于通过在晶片支撑衬底表层涂上一层均匀的蜡层以确保精确和重复性粘结。后续的粘结使用粘片机来完成。
对于薄的和极薄的晶片，像激光器，焦平面列阵,MMIC's和红外探测器等，经常需要将晶片精确的粘结到固定的衬底上以备后续的背减薄和抛光。在处理过程中这种操作能够保证晶片的完整性和尺寸精度。
精确和重复的蜡粘结对于达到标准精度是相当重要的，而传统的粘结方法对于厚度和粘结质量都是不连续的。因此控制蜡层的目标就为让晶片达到:
- 研磨抛光后没有塌边
- 厚度一致，如一定要没有气泡使蜡层变形
- 完整无损，如不会因为处理过程中粘结条件的变化导致破裂或损坏.
产品配置
有以下配置:
- 用于4英寸衬底的WCS-10
- 用于高熔点蜡的WCS-10
- 用于4英寸衬底和高熔点蜡的WCS-10
产品规格
| 电源 : | 220/240V, 50Hz |
| 最大容量 : | 6 片直径 83mm (3") 4 片直径 105mm (4") 1 片直径152mm (6") |
| 高 : | 1600mm |
| 长 : | 580mm |
| 宽 : | 940mm |
| 重 : | 200Kg (440lbs) |
| 供水 : | Mains pressure cold water 干线压力冷水 |
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