LI15 Fizeau 干涉仪是用于数据分析以加快工艺评估过程 。. 
主要特性
- 抛光样品到lambda/10的高精度平面测量
- 3维影像分析能力
- 高清晰 0.335µm测量条纹
- 1" 至 6"直径材料的条纹影像及分析
描述
LI10可以进行大范围的平整度测量，样品尺寸可达直径102 mm（4’’）。适用于光学组件的生产和研究开发的实验室。
我们的 fizeau干涉仪给表面平整度光学测量提供一个快速精确的方法，它的特点是参考面和测试表面不直接接触，参考面平整度为l/20.而根据光干涉原理， 有空气间隙的两个表面间光反射形成干涉，最终形成了干涉条纹。LI10可以生成一个等高线图或是干涉图。
LI10是一个手动单元，测量结果通过一个广角镜（标准供应）或一个双目镜来察看.
使用LI10干涉仪，可以轻松观测到等高线图形。每一个干涉 条纹代表样品与参考面间空气间距发生0.316微米的变化 。
凸凹的情况可以通过用手指轻按来缩小空气间隙来观测到。干涉图的条纹通常会从最小的空气间隙处（如突起处）朝最大空气间隙处（如凹陷处）移动。因为干涉测量的方法决定样品平整度的偏差,并且测量时需要在样品和参考平板间形成一定的斜角，所有必须通过从视觉上减少条纹计数的方法来补偿任何剩余的净倾斜。而使用LI10斐索干涉仪可确保平整度测量尽可能精确。
Fizeau 干涉仪应用
Logitech LI10 fizeau干涉仪可理想的用于检测光学平面以及进行很多光学器件的平面度测量。它可以进行抛光半导体或光学材料的平整度测量，对这些材料来说平整度对后续工艺极其重要。
产品配置
LI10 fizeau 干涉仪可配置以下附件 :
- 真空吸附
- 广角镜
- 双目镜
- Polaroid相机
- CCTV 220V/50Hz
产品规格
| 电源 : | 240V, 50/60Hz 110V, 50/60Hz |
| 最大样品尺寸 : | 102mm (4")ø (5"/6" on other models) |
| 孔径 : | 102mm (4")ø (5"/6" on other models) |
| 参考板 : | Flatness  /10Parallelism 20 +/- 5 min of arc min. positive wedge |
| 条纹间隙 : | 0.316µm |
| 照明 : | 0.5mw HeNe Laser |
| 高 : | 315mm |
| 长 : | 320mm |
| 宽 : | 215mm |
| 净重 : | 7.6Kg |
需要更多关于LI10的信息，请至电 +86 (10)62564811，62538157或者填写我们的联系表格.