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GI30 平整度测量系统

GI30 Flatness Measurement System

主要特性

  • 高精度平整度测量:毛面,研磨后和半抛光样品
  • 三维影像分析
  • 高清晰度的测量:每个干涉条纹2微米
  • 测量表面粗糙度Ra从1纳米到300纳米

Description

GI30是掠入射干涉仪,用于高精度平面测量,适用于研磨后和半抛光表面的测量,样品尺寸可达直径150mm (6").与常规的Fizeau 干涉仪不同,GI30可用于测量非反光表面,能理想的检查抛光之前的研磨过或毛砂表面 .

装在GI30内部的相机将拍摄到的相差图片传输到PC,再通过PC中特殊设计的图形软件建立样品的3D表面图.做为一个掠入射干涉仪,GI30能够测量已减薄或半抛光表面的平整度和平行度.3D影像在很多应用中非常有用,像在过程中需进行质量控制时,用它来检查已减薄或半抛光表面。GI30里使用的Logitech设计的软件具有分析特性,它通过分析工具(如统计、偏差、衍射分析、图象处理等)来解释数据.在处理噪声数据时,这一多样性非常有用。

应用

无论是测量平整度还是进行质量评估,GI30可给以下材料器件的加工处理提供极好的解决办法 :

  • 半导体晶片
  • 光学器 件
  • 车床加工器件
  • 地质样品

在需要自动化程度以加速质量评估过程中GI30就特别有用.

产品附件

有以下附件:

  • 测试平板
  • 影像截取单元

产品规格

电源 : 240V, 50/60Hz
最大样品尺寸 : 150mm (6")ø
表面粗糙度 : 1nm to 300nm Ra
条件间距 : 2µm
高 : 260mm
长 : 602mm
宽 : 430mm
净重 : 24Kg

 

需要更多关于GI30的信息,请至电 +86 (10)62564811,62538157或者填写我们的联系表格.

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