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砷化镓

Semiconductor materials processing

什么是砷化镓?

砷化镓 (GaAs)是一种化合物半导体 : 由两种元素组成,镓(Ga)和砷(As).镓是金属冶炼时的副产物,比金还稀少。而砷并不是稀有的,但却有毒。

.砷化镓的使用有多种,包括用于一些二极管,场效应晶体管和集成电路。砷化镓器件在超高射频及快速电子开关应用中也相当有用。使用砷化镓的好处是它产生的噪音比其它大多数半导体器件要低,因而被应用于弱信号放大应用中。

.而且,砷化镓还可用于在光通信和控制系统中的发光二极管的制造。由于这些特性,砷化镓就成为在线性数字集成电路制造中替代硅的合适选择。

评说砷化镓

  • 不像硅电池,砷化镓对于热不敏感。
  • 用铝、磷、锑或铟同砷化镓制成的合金拥有与砷化镓相补充的特性,具有更大的灵活性。
  • 砷化镓能非常好的防止辐射损伤,加上它的高效率,使砷化镓能更理想的用于空间应用。
  • 然而砷化镓也有缺陷。它成功的最大障碍就是单晶衬底片的高成本。

研究者正在寻找降低砷化镓器件成本的方法,像将砷化镓电池封装到便宜些的衬底上;将砷化镓电池长在一个可移除和可重复使用的砷化镓衬底上;甚至将砷化镓薄膜做得跟那些铜铟联硒化合物和锑化镉相似。

化镓典型抛光条件

Scratch hardness (Mohn’s scale):硬度 3
Polisher: 抛光剂 Wax 蜡
Abrasive:料 Linde A
Lubricant:润滑剂 10% Chromic Acid(铬酸)
Load (g cm-2):压力 60 - 80
Machine:设备 Logitech PM5AC / LP50C
Fixture:夹具 Logitech PP5/6GT
   

典型研磨抛光结果 

   
Flatness:平整度 5 Fringes
Surface Finish:表面光洁度 Ra 3-4nm
Thickness Control厚度控制 +/- 2 microns down to below 100 microns
Parallelism平行度 +/- 2 microns

需要更多关于砷化镓设备的信息,请至电 +86 (10)62564811,62538157或者填写我们的联系表格.

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