晶圆切片 内缘切割机,像 APD1和 APD2,能理想用于晶棒(直径到78mm)的切片,并且可以切片至0.1mm厚。缺口损失很低,表面粗糙度到200纳米(跟切割材料有关). |
研磨&抛光 用于量产和研究领域的高速抛光系统分别有 DH600 和 DH300。它们可以理想的用于抛光光电材料像碳化硅或蓝宝石等,通过驱动头技术可以将时间大大减半。 |
晶体晶圆切割 用于光电器件制造的基板生产需要把晶圆切成适当尺寸的板形。 使用外缘刀APD1和APD2 精密切割机可以实现这个工艺. 对于精细切割,使用Model 15和 AWS1 线切割机可以配合使用3轴角度计来实现晶体晶向切割. |
研磨抛光盘 .因为光电材料在诸多领域内使用,而且表面要求及高,所以研磨抛光盘的选择对于获得高质量结果至关重要。Logitech公司会给研磨抛光盘的选择提供详细的建议,并提供全面的各种类型研磨抛光盘。 |
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