主要特性
- 4马达驱动抛光头
- 盘速可调(0-160rpm)
- 盘直径 600mm (23")
- 每批可加工48片直径 2"晶片,或 4片 8"直径晶片
- 适用Sic, GaN, AIN, Sapphire 等的抛光
描述
DH600是一个理想的抛光系统,用于对光学材料晶片(SiC、GaN、AlN、Sapphire…)、部件等的自动化末级抛光,如滤波材料、楔形材料、甚至液晶显示板料。四马达驱动,四个超大抛光头允许最多达48片2"晶片同时抛光。因此DH600在满负荷生产环境中使用非常理想。DH600的自动控制面板采用操纵杆控制,过程参数可自由输入和更改。自动控制和智能的装载/卸载系统可快速抛光晶片达到外延准备表面.这个系统对硬的衬底材料的操作特别有用,而且它还能操作最大达8" ø 的晶片。
应用
DH600可用来抛光任何光学材料,自动控制及智能装载系统能将晶片快速抛光至外延表面而不失对晶片的几何尺寸厚度,而且最大可到直径 8".
主要特性
1.减少抛光时间 每个抛光头45Kg负载,抛光时间可减少50%。
2.多功能和多样性 可抛光多种光学材料,足够给光学抛光提供精确的规格和数量,并且可以根据用户的确切要求制作不同的抛光模板,取得最佳成效。
3.高产量 一次最多可抛光48片2英寸晶片。
4.操作和维护方便、简单 自动化面板控制,全部参数设置都在面板上操作,简单、明了。另装有智能的装载/卸载系统,容易操作。
5.易于移动 整个系统安放在可以锁定的轮上,方便固定和移动。
附件选项
本产品无附件.
产品规格
| 电源 : | 3 Phase 220V (440V between phases) |
| 保险 : | 20A |
| 盘速 : | 0-160rpm |
| 盘尺寸 : | 600mm (23.6") |
| 抛光头速 : | 0-125rpm |
| 抛光头负载 : | 2psi - 9psi 线性 压力 |
| 抛光头容量 : | 12 x 2" 晶片(标准模板) 可按要求定制 |
| 机器容量 : | 48 x 2" 晶片每批 |
| 高 : | 1800mm |
| 长 : | 900mm |
| 宽 : | 900mm |
需要更多关于DH600的信息,请至电 +86 (10)62564811,62538157或者填写我们的联系表格.
