主要性能
- 抛光操作的实时监控
- 定制软件监控主要参数
- 不需要中止工艺过程来测量样品厚度
- 与所有版本CDP兼容
描述
EPD系统可以在抛光过程中进行实时监控，而无需在抛光过程中停下进行测量。它可以做为CDP抛光系统的选件。
操作
CDPScan软件通过PC或笔记本与CDP主机进行通信，界面容易操作，通过一系列实时图像可以显示整个平坦化过程。每个曲线图显示一个过程参数，并通过设定的算法规则来进行计算。这样CDPScan软件就能监控抛光过程，并用曲线测绘出整个抛光过程中每个参数的状态。一旦预设工艺参数达到它们所计算的终点值，抛光过程就完成了。
另外CDPScan还有一个安全特性，一旦所监控的工艺参数被检测到有变化，CDPScan就会触发警报以防止过抛。
触发这一安全特性的一个例子就是抛光头速度相对预设值发生变化。这种变化表明抛光垫与被抛光材料（晶片/器件等）之间的抛光界面发生了变化，而这个界面的变化引起了能将材料平坦化所必需的摩擦力的变化。一旦警报触发从预设规则变化而来的工艺参数就会被识别到。
自动控制面板选项
在平坦化及除层操作中任何相对于预设工艺参数的偏离都会导致程序中断。控制面板会自动将过程序跳到抛光最后一步，用去离子水冲洗抛光垫，并将装有晶片/IC的抛光头从抛光垫上升起，以防止停留在抛光垫上发生任何不必要的损伤。
用EPD升级CDP系统
所有CDP系统都与此EPD系统全面兼容，通过适合的软件及硬件可对CDP系统进行升级翻新。而且还有完整的系统使用培训。
产品附件
本产品无其它附件.
产品规格
| 盘速 : | 0-480Hz, 1Hz精度 |
| 盘电流 : | 0-400A, 1A 精度 |
| 抛光头速度 : | 0-480Hz, 1Hz 精度 |
| 抛光头电流 : | 0-400A, 1A 精度 |
| 盘电压 : | 0-1000V, 1Hz 精度 |
| 直流总线电压 : | 0-1000V, 1Hz 精度 |
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